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ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器
簡要描述:

ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器采用全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)及密封的316L不銹鋼傳感器,可根據(jù)不同應(yīng)用需求選擇相應(yīng)的彈性密封材料, 如:FFKM、EPDM、Viton及Buna-n等。Alicat的層流壓差技術(shù)能以 驚人的速度測量氣體質(zhì)量流量,且具備一系列標準性能,如:200:1量程可調(diào)比、內(nèi)置30種氣體可選、多功能數(shù)字顯示屏及有條件的終身質(zhì)保等。

更新時間:2024-10-15

訪問數(shù)量:8660

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一、ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品優(yōu)勢

操作簡單

Alicat 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器操作極其簡單,用戶可通過多功能數(shù)字顯示屏調(diào)節(jié)參數(shù),無需連接電腦或其它任何復雜的編程軟件。

精確控制

Alicat 標準型質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.),幾乎所有型號通過增加高精選配項可達±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。

高性價比

Alicat 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器本身耗電極小,從而降低了系統(tǒng)運營的成本,且相比于同類產(chǎn)品,其壓損較低,降低壓損意味著更多氣體進入到系統(tǒng)中,而不是停留在測量&控制設(shè)備中。除質(zhì)量流量外,Alicat 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器還可同時測量體積流量、壓力和溫度,您無需另外采購和安裝其它設(shè)備。使用累加器(TOT)功能可顯示流經(jīng)氣體總量,是監(jiān)控整個應(yīng)用過程及減少氣體浪費的有效的方法。MCS系列的模塊化設(shè)計使其成為真空應(yīng)用的佳選擇。

性能

MS/MCS系列質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器可測量與控制從0.5SCCM3000SLPM的滿量程的任何流量,除了RS-232數(shù)字信號輸出,還配有多種模擬信號輸出。MS系列質(zhì)量流量計亦有便攜式型號(MBS系列),采用一塊普通9伏電池供電,即成為一款適用于腐蝕性氣體的二等標準流量校準設(shè)備。

反應(yīng)靈敏

與相應(yīng)標準型M/MC系列相同,MS/MCS系列質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器(防腐蝕型)其測量響應(yīng)小于10毫秒、控制響應(yīng)為100毫秒。

高重復性

Alicat 的技術(shù)使得質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器幾乎沒有可移動部件,所有零件都被內(nèi)置固定,腔體內(nèi)不存在物理變化,從而具有較高的*性和重復性。所有Alicat 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器的重復性可達±0.2% F.S。

值得信賴

現(xiàn)有超過90000Alicat設(shè)備正被使用在不同領(lǐng)域中,質(zhì)量流量控制器主要應(yīng)用于醫(yī)藥、半導體、燃料電池、如:科學研究、泄漏測試、環(huán)境監(jiān)測、 真空鍍膜、半導體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計量以及過程工藝氣體測量&控制等。所有Alicat 設(shè)備均具有NIST可溯源校準證書。

二、ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器標準性能

  • 多功能數(shù)字顯示屏
  • 顯示多種測量參數(shù):質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
  • 低壓損
  • 無需預(yù)熱
  • 316L不銹鋼本體&傳感器
  • FFKMViton、BunaEPDM密封材料可選
  • 可調(diào)節(jié)PID算法 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
  • 內(nèi)置130種常用氣體可選 ,開放COMPOSER? — 氣體編輯器,允許用戶自定義混合氣體組分
  • 200:1 量程可調(diào)比

三、ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)

指標

ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器

量程

0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....1500SLPM,2000SLPM,3000SLPM

精度

±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程)

重復性

±0.2%

量程比

200:1

響應(yīng)時間

100ms

標準狀態(tài)(STP)

25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

溫度范圍

-10~50

零點漂移

0.02

量程漂移

0.02

濕度范圍

0-100%

測量流量范圍

128%(過流率)

大耐壓

145psi

輸出信號(數(shù)字)

質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

數(shù)字信號可選

RS485,Modbus,Profibus

輸出信號(模擬)

質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度

模擬信號可選

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA

電氣連接

8針/9針/15針(根據(jù)不同類型流量計而定)

供電電壓

7-30VDC(4-20mA輸出時為:15-30VDC)

供電電流

0.035A(4-20mA輸出時為:0.055A)


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