更新時間:2024-10-15
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一、porter熱式氣體質(zhì)量流量控制器設(shè)計(jì)特點(diǎn)
熱式原理
一體化設(shè)計(jì)
滿量程從 5SCCM 到 1000SLPM
響應(yīng)時間不超過 2 秒鐘
操作壓力可達(dá) 20.7MPa
對安裝位置不敏感
316SS 材質(zhì),允許測量腐蝕性氣體
無直管段安裝要求
單電源供電
二、porter熱式氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
流量范圍 :從 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ,具體請參考表一
響應(yīng)時間 : 1 ~ 2 秒
精 度 : ± 1% 滿量程(除 204A 型)
---------± 1± 1.5%.滿量程( 204A 型)
重 復(fù) 性 : ± 0.2% 滿量程
量 程 比 : 50:1 ( 2%-100% 滿量程)
環(huán)境和操作溫度 : -10 ~ 70 ℃
大操作壓力 : 3000PSIG ( 20.7MPa ),具體請參考資料
零點(diǎn)漂移: ± 0.05 % 滿量程 / ℃
范圍漂移 : ± 0.05 % 讀數(shù) / ℃
壓力漂移 : 0.1%/atm (相對于 N 2 )
安裝方向 : 對位置不敏感
預(yù)熱時間 : 10 分鐘
電氣連接 : 卡式 ( 20 針)或 D 型( 9 針)
設(shè)定點(diǎn)輸入流量信號輸出 :0-5VDC/0-5VDC;4-20mA/4-20mA
供應(yīng)電源 :
電壓輸出:+ 12( ± 5 % ) (僅適用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信號輸出)或 15( ± 10 % )VDC
電流輸出:+ 15( ± 5 % ) 或 24( ± 15 % )VDC
電流消耗:< 250mAdc
重 量 :請參考表一
三、結(jié)構(gòu)材質(zhì)
主體: 316SS
傳感器組件 : 316LSS
孔: 316SS
閥構(gòu)成部件 (接液):
302SS , 316SS , 430FSS , Sandvik?1802 (除 202 、 221 、 222 和 251 型);302SS , 316SS , Sandvik?1802 ( 202 、 221 、 222 和 251 型)
密封材質(zhì)(" O "型環(huán)和閥座):
Buna N , EPDM , Kalrez , Neoprene , Viton (除 202A 、 203A 和 204A 型);Buna N , Viton( 202A 、 203A 和 204A 型)
過程連接: 316SS
四、選型表
型號 | 流量范圍 小/大 N2 | 大操作壓力 PSIG(MPa) | 重量 Ibs(Kg) |
201 | 0-5SCCM/0-10SLPM | 1000(6.9) | 1.2(0.54) |
202 | 0-10SLPM/0-100SLPM | 1000(6.9) | 4.1(1.86) |
221 | 0-5SCCM/0-10SLPM | 3000(20.7) | 4.1(1.86) |
222 | 0-10SLPM/0-100SLPM | 3000(20.7) | 4.1(1.86) |
251 | 0-10SLPM/0-50SLPM | 1000(6.9) | 1.4(0.64) |
202A | 0-10SLPM/0-100SLPM | 200(1.4) | 5.1(2.31) |
203A | 0-100SLPM/0-500SLPM | 200(1.4) | 10.9(4.95) |
204A | 0-500SLPM/0-1000SLPM | 200(1.4) | 10.9(4.95) |
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