更新時間:2024-10-16
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一、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品優(yōu)勢
操作簡單
Alicat 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器操作極其簡單,用戶可通過多功能數(shù)字顯示屏調(diào)節(jié)參數(shù),無需連接電腦或其它任何復雜的編程軟件。
精確控制
Alicat 標準型質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.),幾乎所有型號通過增加高精選配項可達±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。
高性價比
Alicat 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器本身耗電極小,從而降低了系統(tǒng)運營的成本,且相比于同類產(chǎn)品,其壓損較低,降低壓損意味著更多氣體進入到系統(tǒng)中,而不是停留在測量&控制設備中。除質(zhì)量流量外,Alicat 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器還可同時測量體積流量、壓力和溫度,您無需另外采購和安裝其它設備。使用累加器(TOT)功能可顯示流經(jīng)氣體總量,是監(jiān)控整個應用過程及減少氣體浪費的有效的方法。
性能
MS/MCS系列質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器可測量與控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量,除了RS-232數(shù)字信號輸出,還配有多種模擬信號輸出。MS系列質(zhì)量流量計亦有便攜式型號(MBS系列),采用一塊普通9伏電池供電,即成為一款適用于腐蝕性氣體的二等標準流量校準設備。
反應靈敏
與相應標準型M/MC系列相同,MS/MCS系列質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器(防腐蝕型)其測量響應小于10毫秒、控制響應為100毫秒。
高重復性
Alicat 的技術(shù)使得質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器幾乎沒有可移動部件,所有零件都被內(nèi)置固定,腔體內(nèi)不存在物理變化,從而具有較高的*性和重復性。所有Alicat 質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器的重復性可達±0.2% F.S。
值得信賴
現(xiàn)有超過90000臺Alicat設備正被使用在不同領(lǐng)域中,質(zhì)量流量控制器主要應用于醫(yī)藥、半導體、燃料電池、如:科學研究、泄漏測試、環(huán)境監(jiān)測、 真空鍍膜、半導體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計量以及過程工藝氣體測量&控制等。所有Alicat 設備均具有NIST可溯源校準證書。
二、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器標準性能
三、性能參數(shù)
指標 | ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器 |
量程 | 0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....1500SLPM,2000SLPM,3000SLPM |
精度 | ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程) |
重復性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應時間 | 100ms |
標準狀態(tài)(STP) | 25℃&14.696PSIA (101.325kPa) |
溫度范圍 | -10~50 |
零點漂移 | 0.02% |
量程漂移 | 0.02% |
濕度范圍 | 0-100% |
測量流量范圍 | 128%(過流率) |
大耐壓 | 145psi |
輸出信號(數(shù)字) | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
數(shù)字信號可選 | RS485,Modbus,Profibus |
輸出信號(模擬) | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
模擬信號可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針(根據(jù)不同類型流量計而定) |
供電電壓 | 7-30VDC(4-20mA輸出時為:15-30VDC) |
供電電流 | 0.035A(4-20mA輸出時為:0.055A)
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