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Hammer質(zhì)量流量計(jì)
簡(jiǎn)要描述:

國(guó)產(chǎn)質(zhì)量流量計(jì)耐壓100bar(產(chǎn)品在50MPa壓力下通過(guò)打壓測(cè)試),可測(cè)量腐蝕性氣體,結(jié)構(gòu)緊湊,重復(fù)性高,響應(yīng)時(shí)間快,性價(jià)比高,可廣泛用于設(shè)備配套。Z大流量可測(cè)到100SLPM,質(zhì)量流量控制器的Z大流量可測(cè)到100SLPM。

更新時(shí)間:2024-10-16

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一、Hammer質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品特點(diǎn)

· 測(cè)量質(zhì)量流量

· 無(wú)需溫度和壓力補(bǔ)償

· 結(jié)構(gòu)緊湊

· 精度高

· 工作壓力高

· 響應(yīng)時(shí)間快

· 重復(fù)性高

二、Hammer質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品簡(jiǎn)介

本體耐壓100bar,可測(cè)量腐蝕性氣體,結(jié)構(gòu)緊湊,重復(fù)性高,響應(yīng)時(shí)間快,性價(jià)比高,可廣泛用于設(shè)備配套。氣體大流量可測(cè)到100SLPM,質(zhì)量流量控制器的大流量可測(cè)到100SLPM。

三、Hammer質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器

流量范圍(N2)

 10SCCM~100SLPM

響應(yīng)時(shí)間

 <2 sec

精準(zhǔn)度

≤±1% FS

重復(fù)精度

±0.2% FS

輸入/輸出信號(hào)

0~5 Vdc OR 4~20 mA

供電電源

±15 Vdc or 24 Vdc, 300mA

耐壓

 <100bar

工作環(huán)境溫度

 0~50 °C

漏率

 1*10E-9 atm cc/sec

使用范圍

 2 ~ 100%



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